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石英坩埚使用中常见问题和解决方法

放大字体??缩小字体 发布日期:2012-08-02??浏览次数:2355
核心提示:在Cz法单晶的制备中,石英坩埚作为熔硅的载体有着其不可替代的作用。了解石英坩埚的特性和掌握正确的方法对所有从事单晶制备的每一位从业人员来说都是非常重要的。
?引言
在Cz法单晶的制备中,石英坩埚作为熔硅的载体有着其不可替代的作用。了解石英坩埚的特性和掌握正确的方法对所有从事单晶制备的每一位从业人员来说都是非常重要的。
?石英坩埚的特性(主要介绍热学性能和结晶性能)
1. 热学性能:
?热学性能主要体现在以下几个方面
(1)??? 它的形变点为1075℃
(2)??? 它的软化点为1730℃
(3)??? 其最高连续使用温度为1100℃,短时间内为1450℃。
2. 结晶性能
1) 石英坩埚在高温下具有趋向变成二氧化硅的晶体(方石英)。这个过程称为再结晶,也称为“失透”,通常也称为“析晶”。
2) 析晶通常发生在石英坩埚的表层,按照中国石英玻璃行业标准规定,半导体工业用石英玻璃在1400℃±5℃下保温6小时,其析晶层的平均厚度应为﹤100μm 。

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